Dispositivos MEMS são sensores e atuadores eletromecânicos fabricados utilizando as mesmas técnicas empregues na produção de dispositivos microeletrónicos. No entanto, devido à sua natureza mecânica, a complexidade do processo de teste de MEMS é consideravelmente superior.
Atualmente existe uma falha de sistemas de teste de MEMS disponíveis no mercado, principalmente sistemas rápidos e de baixo custo que possam ser utilizados tanto em ambiente laboratorial como em processo fabril. Sendo estes essenciais no desenvolvimento de microestruturas, quer para a sua caraterização no processo de fabrico, como na sua calibração em processo fabril, é de especial interesse a criação de uma plataforma deste tipo.
Com o intuito de solucionar este problema, foi iniciado o processo de desenvolvimento de um destes sistemas, na Universidade do Minho. O hardware desta plataforma já foi criado utilizando uma FPGA e placas de circuito impresso customizadas, sendo que o próximo passo é desenvolver o software que permita que esta efetue as principais rotinas de teste de MEMS e que possibilite uma forma simples de comunicação entre o utilizador e a plataforma.
A finalidade desta dissertação é o desenvolvimento de uma toolbox que permita expandir as funcionalidades da plataforma de teste de MEMS cujo hardware já foi desenvolvido na Universidade do Minho. Esta toolbox deverá simplificar a utilização da plataforma, garantir uma comunicação rápida e fiável e implementar rotinas específicas de teste de MEMS.
De forma a alcançar esse objetivo, a elaboração desta toolbox pode ser dividida nas seguintes três componentes:
-> Driver de comunicação com a plataforma de teste MEMS:
o Deve estabelecer a comunicação TCP/IP com a plataforma;
o Definir os comandos do instrumento;
-> Interface gráfica:
o Desenvolvida em MATLAB;
o Deve permitir configurar as propriedades da plataforma de teste;
o Deve possibilitar a aquisição dos sinais e valores de saída desta;
-> Blocos de software de baixo nível implementados na FPGA:
o Modo Osciloscópio;
o Varrimento de frequências;
o Medição de tensões de "pull-in" e "pull-out";
o Medição da frequência de ressonância;
o Medição do fator de qualidade;
o Aquisição do diagrama de Bode;
o Medição da capacidade em repouso.